Anlagenbau
Die ARC-Anlagen mit 14 bzw. 20 Verdampfern erzeugen ein Höchstmaß von Schichtenvielfalt für unterschiedliche Anwendungen. Die Mehrfachrotation sichert den gleichmäßigen Schichtaufbau.
- EITEC ist autark durch den eigenen Anlagenbau
- Planung von Vorrichtungen
- Planung kompletter PVD – Anlagen
- Entwicklung neuer Beladesysteme
- Entwicklung neuer Verdampfereinheiten
- Schaltpläne erstellen
- Fertigen der Schaltschränke
- Montage der Beschichtungsanlagen
- Entwurf neuer Software zur Anlagensteuerung
- PVD-Anlagen mit bis zu 20 ARC-Verdampfern ermöglichen das Abscheiden bis zu 4 verschiedenen Kathoden.
- Diffusionskammern zur Randschichthärtung von Warmarbeitsstählen bis 1200 HV
- Vorrichtungsbau für Beladungssysteme
- PVD-Anlagen zum Entschichten von Kohlenstoffschichten im Vakuum.
- Konzeptionierung und Bau von ultraschallunterstützten Reinigungsstraßen
Ansprechpartner:
Manfred Friedrich
0234/325995-66
manfred.friedrich@eitec-bochum.de
Gleichmäßiger Schichtaufbau durch Mehrfachrotation der Werkzeuge.
Seit 2012 können Multilayer-Schichten aus 4 Verdampferlinien erzeugt werden.
Die Lichtbogen-Verdampfung ermöglicht eine höchste Ionenstromdichte.