Anlagenbau

Die ARC-Anlagen mit 14 bzw. 20 Verdampfern erzeugen ein Höchstmaß von Schichtenvielfalt für unterschiedliche Anwendungen. Die Mehrfachrotation sichert den gleichmäßigen Schichtaufbau.

  • EITEC ist autark durch den eigenen Anlagenbau
  • Planung von Vorrichtungen
  • Planung kompletter PVD – Anlagen
  • Entwicklung neuer Beladesysteme
  • Entwicklung neuer Verdampfereinheiten
  • Schaltpläne erstellen
  • Fertigen der Schaltschränke
  • Montage der Beschichtungsanlagen
  • Entwurf neuer Software zur Anlagensteuerung
  • PVD-Anlagen mit bis zu 20 ARC-Verdampfern ermöglichen das Abscheiden bis zu 4 verschiedenen Kathoden.
  • Diffusionskammern zur Randschichthärtung von Warmarbeitsstählen bis 1200 HV
  • Vorrichtungsbau für Beladungssysteme
  • PVD-Anlagen zum Entschichten von Kohlenstoffschichten im Vakuum.
  • Konzeptionierung und Bau von ultraschallunterstützten Reinigungsstraßen

Ansprechpartner:

Manfred Friedrich
0234/325995-66
manfred.friedrich@eitec-bochum.de

Gleichmäßiger Schichtaufbau durch Mehrfachrotation der Werkzeuge.

Seit 2012 können Multilayer-Schichten aus 4 Verdampferlinien erzeugt werden.

Die Lichtbogen-Verdampfung ermöglicht eine höchste Ionenstromdichte.